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    半導體行業凈化解決方案

    晶圓設備,微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體產業首要擔心的問題。不能很好的在潔凈室或設備中控制微?;駻MC將大大的削弱企業的經營利潤。潔凈室的主要的問題是產品、工具、加工過程和氣味控制的污染。

    傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器,整個地面為回風柵板。如今我公司生產的FFU 使用自帶風機的過濾裝置,解決了繁復的安裝和性價比問題,是目前市場上一種安靜、價格優良的機組,為潔凈室輸送高質量的循環空氣。

     

    污染物

    來源

    引發問題

    解決方案

    粉塵

    空氣

    造成集成電路斷路、短路,影響成品率

    化學過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU

    NH3,NMP

    外氣

    “T-top“現象

    化學過濾模塊

     

     

    部分成交客戶

     

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